?用于空氣、中真空、水。
?主體材質(zhì)：Al、樹(shù)脂（PPS）、C37、SUS。
?有帶快換管接頭（樹(shù)脂主體）的型號(hào)。
?IP65。

※VDW10/20系列于2012年12月停產(chǎn)。
　請(qǐng)選擇NewVDW10/20系列。
※VDW30系列于2015年7月停產(chǎn)。
　請(qǐng)選擇VX21系列。

?采用體積小、重量輕的樹(shù)脂主體（PPS）。
?IP65。
?消耗功率：3W（標(biāo)準(zhǔn)）、0.5W（帶節(jié)電回路）。

?高速響應(yīng)：ON時(shí) 0.45ms、OFF時(shí) 0.4ms(±0.05ms)。
?長(zhǎng)壽命 50億次以上。
?高頻率 1200Hz。
?薄型 9mm。
?低功耗 4W。

?高頻率動(dòng)作。
　高速響應(yīng)7ms以下（VQ20）、20ms以下（VQ30）。
?內(nèi)置快換管接頭，便于配管。
?DIN連接　可對(duì)應(yīng)防塵、防噴流型（IP65）。
?用于工件的吹氣、吹掃。
?集裝底座型號(hào)：VV2Q22，VV2Q32。

?接觸液體部分材質(zhì)
　主體／地盤(pán)：PEEK。
　膜片：可選擇EPDM，F(xiàn)KM，Kalrez®。
?動(dòng)作壽命1000萬(wàn)次以上（本公司實(shí)驗(yàn)條件下的值）。

?低發(fā)塵、禁油、無(wú)金屬。
?使用流體：空氣、水、脫離子水(純水)、稀釋液、洗凈液。
?分離構(gòu)造
　隔離密封墊將使用流體區(qū)域與電磁驅(qū)動(dòng)部隔離。
?簡(jiǎn)單配管。
?防止液體積留。
?不需要調(diào)節(jié)流量。

?用于精密洗凈及潔凈室組裝。
?全部產(chǎn)品均經(jīng)過(guò)了氦氣泄漏檢測(cè)。
?符合SEMI規(guī)格
?采用方便作業(yè)的鍛造主體。

?低使用壓力：1×10^-6Pa(abs)
?泄漏量：內(nèi)部1.3×10^-9Pa?m³/s、外部1.3×10^-11Pa?m³/s。
?有2種接頭和內(nèi)螺紋可選。
?消耗功率：多削減25％。
?質(zhì)量：多減小18％　0.5kg→0.41kg。