注1 :換算成標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)(20℃ 1個大氣壓(101kPa)、相對濕度65%Rh)下的體積流量
注2 : 請使用不含氯、硫磺、氧等腐蝕成分的干燥氣體,不含灰塵及油霧的潔凈氣體。使用壓縮空氣時,請使用JIS B 8392-1:2012 等級 1.1.1~1.6.2的清潔空氣。來自空壓機(jī)的壓縮空氣含有冷凝水(水、氧化油、異物等)。為了保持本產(chǎn)品的功能,請在本產(chǎn)品的一次側(cè)(上游)安裝過濾器、空氣干燥器(低壓力露點(diǎn)10℃以下)及精密過濾器(大油份濃度0.1mg/m3)后使用。(請參閱第72頁的推薦回路。)氧氣用為型。為了防止火災(zāi),在已經(jīng)通入氧氣以外的流體時,請勿再次通入氧氣。
注3 :精度以本公司的標(biāo)準(zhǔn)流量計為基準(zhǔn),并不表示精度。精度±3%F.S.不包括重復(fù)精度、溫度特性、壓力特性。請根據(jù)使用環(huán)境、使用條件另行考慮。
注4 :短期的重復(fù)精度。不含經(jīng)時變化。(詳情請確認(rèn)產(chǎn)品規(guī)格書。)
注5 :實際響應(yīng)時間根據(jù)配管條件的變化而改變。
注6 : 模擬輸出電壓輸出型的輸出阻抗約為1kΩ。連接負(fù)荷的阻抗較低時,輸出值的誤差會變大。請在對連接負(fù)荷的阻抗下的誤差進(jìn)行確認(rèn)的基礎(chǔ)上使用。
注7 :電壓輸出型與電流輸出型的電源電壓規(guī)格不同,敬請注意。
注8 :連接DC24V、未連接負(fù)荷時的電流。消耗電流因負(fù)荷的連接狀態(tài)而異,敬請注意。
注9 :本產(chǎn)品的保護(hù)回路僅對特定的誤連接、負(fù)荷的短路有效,并不確保能夠應(yīng)對各種誤連接。
注10 : 本產(chǎn)品對氣流引起的熱分布變化進(jìn)行測量??v向安裝時,可能因?qū)α鞯挠绊懚鴮?dǎo)致熱分布變化、零點(diǎn)偏移。注11 :配管條件可能會影響精度。為提高測量精度,請設(shè)置10倍于配管內(nèi)徑的直管部。 500L/min、1000L/min型號請使用內(nèi)徑9mm以上的配管。如為9mm以下,精度可能會變差。
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